Hammer質(zhì)量流量控制器控制量程低至0-0.5SCCM，采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質(zhì)量流量和體積流量，耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。內(nèi)置130種氣體，大大節(jié)約用戶成本。反應(yīng)時(shí)間快。

更新時(shí)間：2025-09-26

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一、Hammer質(zhì)量流量控制器系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門(mén)為無(wú)摩擦閥門(mén)，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)。

MCW / MCRW 低壓損系列

大限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的選擇；大量程：0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥，專(zhuān)門(mén)用于真空應(yīng)用。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

二、質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)

? 后置閥門(mén)，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的閥門(mén)響應(yīng)來(lái)分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA認(rèn)證1類(lèi)2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類(lèi)2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境

? 9針或15針D-Sub等連接接口可選

? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合

三、Hammer質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	MFC
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測(cè)量流量范圍	128％（過(guò)流率）
大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）