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熱式質量流量控制器主要應用在哪些地方
更新時間:2020-03-23   點擊次數:2721次
   熱式質量流量控制器主要應用在哪些地方
  熱式質量流量控制器是一種用于測量和控制氣體或液體的質量流量儀表。它可以自動控制氣體流量,即用戶可以根據需要設定流量,MFC可以自動保持流量恒定在設定值。即使系統壓力波動或環境溫度變化,也不會偏離設定值。
  該產品通常由電路板、傳感器、進出口管接頭、分流器管、外殼、調節閥等部件組成。它是一種可手動設置或與計算機自動連接的氣體流量穩定裝置。簡單來說,本產品也是一種穩流裝置。
  該控制器也被制造用來測量和監控從每分鐘幾毫升到每分鐘幾千升的范圍。它的連接方式也有很多種,比如卡套連接、螺紋連接、寶塔嘴連接以及法蘭連接等多種方式。
  正是因為熱式質量流量控制器準確度高,重復性好的特點,進而被很多領域都接受,比如它可應用在石油化工,冶金,制藥,汽車電子,實驗室,環保行業,制氣配氣等行業中。在檢測氣體或液體的擴散,氧化,光纖熔煉,離子注入,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,以及真空鍍膜設備,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中都有用到本產品,可見該產品的作用之大。
  該控制器特點:
  1、高精度
  2、流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm
  3、耐壓等級 - 高達 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
  4、可編程多氣體/多量程功能
  5、可單獨輕松訪問的診斷/維護端口
  熱式質量流量控制器采用熱擴散原理,而熱擴散技術是一種在惡劣條件下具有優良性能和高可靠性的技術。本控制器是一種無需溫度、壓力補償,對管道內各種氣體流動進行方便、準確監測的產品。它是一種新型的流量測量和監測儀器。
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