質量流量控制器運用注意事項
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。
質量流量控制器不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
質量流量控制器可以用于控制所有各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。通常質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議好采用金屬密封的MFC。
質量流量控制器注意以下：
1：怕粉塵, 若粉塵進入質量流量控制器會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器；
2：怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果質量流量控制器的出口接有液體罐, 需要在質量流量控制器出口加上單向閥, 防止液體回流；
3：怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成質量流量控制器通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和管路系統(tǒng)進行干燥處理。
